2006年12月一推出，立刻受到高校科研单位欢迎。

国内用户有 南京大学分析中心 上海师范大学 天津46所

技术参数：

3、仪器主机功能与附件功能

3.1 单色化XPS，Al Kα，包括：

大面积XPS、小面积XPS、成像XPS、深度剖析XPS和角分辨XPS。

3.2 双阳极XPS，Mg/Al Kα

3.3 紫外光电子能谱，UPS

3.4 高压反应室

3.5 分析室样品冷/热台

4、仪器主要部件

4.1 超高真空分析室

180度半球能量分析器，

电子透镜传输系统，

１６多通道电子检测器

分子泵，离子泵，钛升华泵

　　　单色化XPS （AlKα）系统，含内循环水冷却装置，

XPS成像系统，

双阳极XPS系统，冷却循环水和单色化系统共用

紫外光源，

荷电中和系统，用于绝缘样品或导电性差的样品的荷电补偿，

5轴样品台，

标准样品托　２个

Recessed样品托　1个

氩离子枪，用于深度剖析，

热双灯丝离子规，

闭路电视显微彩色摄像系统和SXI成像系统，

分析室和进样室都有独立光纤照明系统，

可观察视窗，视窗直径10cm左右，

样品热/冷台，温度可监测。

4.2 样品进样室

机械泵，分子泵 热双灯丝离子规，

可观察视窗，视窗直径10cm左右。

空气压缩机一台，国内采购

4.3 石英高压反应池

程序控温系统

真空监测系统

真空泵系统

进出气系统，参考南京大学用户设计建议。

压力 一个大气压

全石英底座

密封材料 Byton O-ring

**温度 600度

远红外线加热控温系统

单独石英反应器冷却系统

4 样品磁耦合传输系统

4.5 真空烘烤系统

4.6 主机系统集成，减震装置。

4.7 计算机系统，含数据采集和数据处理软件包。

4.8 与以上所有系统相关联的电子学控制柜。

5、仪器主要技术参数与要求

5.1 仪器主机功能，单色化Al Kα

5.1.1 大面积XPS

Ag3d5/2，1400umx100um， FWHM≤1.00eV时，灵敏度≥1，000，000 cps。

Ag3d5/2，1400umx100um， FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥250，000 cps。

5.1.2 小面积XPS，*小分析面积≤10μm ，性能指标应达到：

Ag3d5/2，20μm， FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥15，000 cps。

Ag3d5/2，10μm， FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥4，000 cps。

Ag3d5/2，10μm， FWHM≤1.00eV时，灵敏度≥12，000 cps。

Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree

75degree

Ag3d5/2，20μm ， FWHM≤0.90eV时，灵敏度≥ 99kcps

Ag3d5/2，100μm ， FWHM≤0.90eV时，灵敏度≥ 47kcps

45degree

Ag3d5/2，20μm ， FWHM≤0.90eV时，灵敏度≥ 50kcps

Ag3d5/2，100μm ， FWHM≤0.90eV时，灵敏度≥ 27kcps

5.1.3 成像XPS

单色化X射线扫描成像，**空间分辨率≤10 μm。

5.1.4 深度剖析XPS

聚焦扫描氩离子枪，当working distance为30 mm时.聚焦氩离子束斑≤150μm，当

working distance为60mm时候，聚焦氩离子束斑≤300μm束流密度≥0.5 mA/cm2。

5.2 仪器附件功能

5.2.1 双阳极XPS，MgKα，Ag3d5/2，FWHM≤1.40eV时，灵敏度≥1，000，000 cps。

5.2.2 紫外光电子能谱（UPS）

(a) 光源：He紫外光源，HeI:HeII=3:1

(b) 性能指标：分辨率（Ag费米边）≤120 meV时，灵敏度（Ag4d）≥2，000，000 cps。

(c) *小步长：5meV

5.2.3 高压反应室

(a) 材质：石英

(b) 内胆内压强：≥760Torr

(c) **温度，≥600℃

(d) 气体混合仓附计量装置，包括压力表、流量计和针阀等。

5.2.4 分析室样品冷/热台，温度：170 K–600 K，温度可检测，加热PID控制。

5.3 仪器主要部件参数与要求：

5.3.1 能量分析器

(a) 类型：半球能量分析器

(b) XPS能量范围： 0–1600 eV（25 meV）

UPS ：0～320 eV（5 meV）

5.3.2 超高真空分析室

(a) SUS材质内表面经过特殊处理

(b) 真空：小于6.7×10-10 mbar

5.3.3 样品进样室

(a) 材质：非磁性不锈钢材料

(b) 真空：小于6.7×10-9 mba

5.3.4 深度剖析氩离子枪

100eV–5keV，连续可调，扫描型。

5.3.5 荷电中和系统：双枪中和系统。

5.3.6 样品控制台

(a) 轴向：5轴，

(b) 移动：各向移动距离必须与样品台尺寸相匹配，步进步长小于1μm，

(c) 倾斜：0–90°

5.3.7 计算机系统

(a) Pentium IV，CPU主频3.0GHz左右；

(b) 内存2G， 硬盘250 G；

(c) ２个DVD/CD-RW Combo光盘驱动器，

(d) 22" 液晶平板显示器；

(e) 4个USB2.0接口；

(f) 100M以上以太网接口，用于数据传输；

(g) 预装Windows XP正版软件；

( h ) 预装仪器操作软件和数据分析软件（含**的XPS数据库），附安装软件光盘；

主要特点：

1.世界上****扫描微聚焦X-射线source

2..世界上****扫描微聚焦X-射线产生的2次电子成像SXI像和XPS成像，可以帮助客户找到肉眼看不见的微观缺陷。

3。可以给出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同类产品的1倍以上。